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プラズマ用高周波電源CESARシリーズ

CESARは、プラズマ・アプリケーション向けの高効率な電源で、安定した出力を維持し、長時間アップタイムを実現しました。インテリジェントなクラスEスイッチモード設計により発熱が少ないため、主要部品への温度ストレスが低減し、ジェネレーターケースから発散させる熱量が減少し、運転時の温度が下がりました。このため冷却部品が小さく済むので、コンパクトなRF電源になっています。 　 効率の良いCESARはまた、プラズマ・プロセスの過酷な条件でも安定に動作し頑丈です。CESARは、大きな負荷のミスマッチにも対応でき、反射パワーが40％を超えても正常な機能を維持しますが、実際の反射パワーは、20％〜40％に制限してあります。これによりストレスが低減し信頼性が一層向上するので運用コストの節減につながります。

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特　長 ● 高信頼性： 少ない部品点数、シンプルな設計 ● アクティブ・フロントパネル： 使いやすさを追求、ユーザーフレンドリーな動作データへのアクセス ● 短納期： モジュール式プラットフォームおよび半製品 (プリ・プロダクト)を基本とした設計コンセプト ● 長寿命： 低発熱量、高品質部品、インテリジェント・デザイン ● 豊富なインターフェース： 2種のアナログ・インターフェースと3種のデジタル・インターフェースにより、6通りの組合せが選択可能 ● 低運用コスト： 研修費、在庫スペアパーツ数を削減 機　能 ● パワー・レギュレーション・モード　(進行波電力、DCバイアス、負荷電力) ● パルスモード (１Hz 〜30KHz,可変デューティーサイクル　0〜99%、外部パルス発信器不要) ● プログラマブル・プラズマ・レシピ (可変ライズ/フォールタイム、パワーランピング、etc) ● プリセット ● 種々のリモートコントロール

社名 ：アステック株式会社半導体事業部　　　　　　　　URL：http://www.astechcorp.co.jp

本社 ：〒169-0075 東京都新宿区高田馬場4-39-7 高田馬場21ビル　TEL：03-3367-8921　FAX：03-3367-8996

大阪営業所：〒531-0074　大阪市北区本庄東1-1-10　ライズ８８　TEL：06-6375-5852　FAX：06-6375-5845

営業品目：高周波電源、自動整合器、自動位相シフタ、スパッタ用DC電源、スパッタ用DCパルス電源、大気圧放電用電源、アーク・カソード電源、バイアス/クリーニング用電源、光ファイバー式温度計