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マグネトロン・スパッタ用DCパルス電源　EnerPulseシリーズ

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本電源はターゲットやサブストレートにとって有害なアーク・エネルギーが極めて小さいスパッタ用電源です。また非常に安定した垂下特性を持った回路方式を採用しており、アーク発生等の負荷急変時に回路内部の電圧が過度に上昇せず、回路部品へのストレスが小さく信頼性の高い電源です。本電源はパルス周波数とパルス幅（デューティ）が可変ですので、生産装置だけでなく研究・開発用に最適です。 特　長 ● 信頼性の高いアーク・コントロール ・ アーク・エネルギーが極めて小さい[0.5mJ/KW以下] ・ 急峻な負荷変動に対し優れたコントロール ・ 小さな出力リップルと蓄積エネルギー ● 優れた性能 ・ 広い動作範囲 ・ パルス周波数可変[20〜150KHz] ・ パルス幅可変 ● 高信頼性 ・ 非常に安定した垂下特性の回路方式 ・ 32bit DSPにより高速・高精度なコントロール ・ 少ない相互干渉と小さなノイズ ・ 入力電圧の瞬時低下に対して高い耐性[SEMI F47] ● 応用 ・ リアクティブイオン・スパッタリング ・ PECVDプロセス ・ パルス・バイアス

仕　様

項目	仕様
	EnerPulse 5		EnerPulse 10
入力電圧	3相、220/380VAC、50-60Hz
出力電力	5KW		10KW
出力電圧	800V
最大出力電流	12.5A		25.0A
レギュレーション	電力/電流/電圧
波形	非対称バイポーラ
パルス周波数	20〜150KHz
リバース電圧	出力電圧の約10%
リバース・タイム	DC mode、1.5〜7μs
パルス電力[80% duty]	6.25A[1000V]〜12.5A[500V]		12.5A[1000V]〜25A[500V]
コントロール・モード	ホスト/リモート（アナログ）/ローカル
アーク・エネルギー	0.5mJ/KW以下
アーク・コントロール	シャットダウン・タイム、アーク・レベル、感度
動作周囲温度	+5℃〜+40℃
冷却	強制空冷
サイズ[mm]	133[H] X 483[W] X 605[D]
重量[Kg]	26.5		29.5

社名 ：アステック株式会社半導体事業部　　　　　　　　URL：http://www.astechcorp.co.jp

本社 ：〒169-0075 東京都新宿区高田馬場4-39-7 高田馬場21ビル　TEL：03-3367-8921　FAX：03-3367-8996

大阪営業所：〒531-0074　大阪市北区本庄東1-1-10　ライズ８８　TEL：06-6375-5852　FAX：06-6375-5845

営業品目：高周波電源、自動整合器、自動位相シフタ、スパッタ用DC電源、スパッタ用DCパルス電源、大気圧放電用電源、アーク・カソード電源、バイアス/クリーニング用電源、光ファイバー式温度計