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Fシリーズ　インピーダンス自動整合器

Fシリーズ　インピーダンス自動整合器は、高周波電源と負荷チャンバーとの間に用いて、最良のインピーダンス整合を得ることができる整合器です。 　 Fシリーズ　インピーダンス自動整合器は、TUNE素子、LOAD素子の整合用にそれぞれMPUを搭載し、オートマッチングに最適化されたアルゴリズムを組み込みました。そしてステッピングモーターにより超高速で正確なインピーダンス整合を行います。

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整合部 特徴 ● 高速整合 ・ マイクロプロセッサーを３個搭載し、モーターの高速制御を実現しました。 ・ 独自のサーボ回路を搭載したステッピングモーターの搭載により、万一脱調が起きても正確に位置を補正します。 ● 整合器単独動作が可能 ・ コントローラー無しでも、RS232、RS422の各種シリアル通信にて、整合器単独動作が可能です。 ● 多彩なセッティング ・ ６チャンネルのプリセット機能内でのチャンネルごとのオフセット・デッドバンド機能、TUNE LOADのRF ON時におけるディレイタイム機能を設定できます。 ● 多周波数化 ・ 動作周波数は50KHz〜100MHz、最大使用電力15KWまで各種お客様の仕様に合わせて設計することが可能です。

項目	仕様
モデル名	FH-6	FH-20	FH-30
最大定格入力	600W	2KW	3KW
冷却	強制空冷	強制空冷・水冷	強制空冷・水冷
使用周波数	13.56MHz
入力インピーダンス	50Ω
負荷インピーダンス	4Ω以上
サイズ[mm]	H×W×D　　　185×194×380

コントローラー部 資料請求・お問い合せ

コントローラー部 特徴 ● メニューの階層化と省ボタン化による操作性向上 ・ メニューページ切替と階層化により操作の煩雑さを削減。また、操作・制御・設定のためのボタンを集約することで直感的な操作を実現しました。 ● 各種インターフェースの搭載 ・ RS232シリアル、アナログインターフェースを搭載 ● 広視野角 ・ 表示部には広視野角・高輝度のVFD（蛍光表示管）を採用。 ● 幅広い入力電圧に対応 ・ コントローラーは整合器動作用電源にもなっており、AC100V〜AC240Vまでの幅広い電圧に対応しています。

社名 ：アステック株式会社半導体事業部　　　　　　　　URL：http://www.astechcorp.co.jp

本社 ：〒169-0075 東京都新宿区高田馬場4-39-7 高田馬場21ビル　TEL：03-3367-8921　FAX：03-3367-8996

大阪営業所：〒531-0074　大阪市北区本庄東1-1-10　ライズ８８　TEL：06-6375-5852　FAX：06-6375-5845

営業品目：高周波電源、自動整合器、自動位相シフタ、スパッタ用DC電源、スパッタ用DCパルス電源、大気圧放電用電源、アーク・カソード電源、バイアス/クリーニング用電源、光ファイバー式温度計