アステック（株） INDEX へ

資料請求・お問い合せ

大気圧放電用パルス電源Geniusシリーズ

資料請求・お問い合せ

本電源は大気圧放電用に使用される汎用電源です。パルス周波数やパルス幅が可変で、生産装置用だけでなく研究・開発用として最適です。また非常に安定した垂下特性を持った回路方式を採用しており、アーク発生等の負荷急変時に回路内部の電圧が過度に上昇せず、回路部品へのストレスが小さく信頼性の高い電源です。 特　長 ● 優れた性能 ・ 準パルス波（Quasi-Pulse） ・ 広い動作範囲 ・ パルス周波数可変[20〜60KHz] ・ パルス幅可変 ・ 高い実効電力と瞬時電力 ・ アーク・ジェット・タイプに適した垂下特性 ● 高信頼性 ・ 非常に安定した垂下特性の回路方式 ・ 32bit DSPにより高速・高精度なコントロール ・ 少ない相互干渉と小さなノイズ ・ 入力電圧の瞬時低下に対して高い耐性[SEMI F47] ・ 低いリップルと小さなシステム・エネルギー ● 応用 ・ 表面クリーニング ・ 表面活性化 ・ PRアッシング ・ ドライ・エッチング

仕　様

項目	仕様
	Genius 2		Genius 6	Genius 10
入力電圧	3相、220/380VAC、50-60Hz
平均出力電力	2KW		6KW	10KW
ピーク出力電力	6KVA		18KVA	30KVA
出力電圧	最大15KV
出力周波数	20〜60KHz
レギュレーション	電力/電圧
波形	準パルス（Quasi-Pulse）
コントロール・モード	ホスト/リモート（アナログ）/ローカル
動作周囲温度	+5℃〜+40℃
冷却	強制空冷
サイズ[mm]	133[H] X 483[W] X 605[D]	178[H] X 483[W] X 605[D]
重量[Kg]	25		30	35

社名 ：アステック株式会社半導体事業部　　　　　　　　URL：http://www.astechcorp.co.jp

本社 ：〒169-0075 東京都新宿区高田馬場4-39-7 高田馬場21ビル　TEL：03-3367-8921　FAX：03-3367-8996

大阪営業所：〒531-0074　大阪市北区本庄東1-1-10　ライズ８８　TEL：06-6375-5852　FAX：06-6375-5845

営業品目：高周波電源、自動整合器、自動位相シフタ、スパッタ用DC電源、スパッタ用DCパルス電源、大気圧放電用電源、アーク・カソード電源、バイアス/クリーニング用電源、光ファイバー式温度計