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マグネトロン・スパッタ用DC電源 EnerStream 詳細 本電源はターゲットやサブストレートにとって有害なアーク・エネルギーが極めて小さいスパッタ用電源です。また非常に安定した垂下特性を持った回路方式を採用しており、アーク発生等の負荷急変時に回路内部の電圧が過度に上昇せず、回路部品へのストレスが小さい電源です。 001 アステック（株）

マグネトロン・スパッタ用DCパルス電源 EnerPulse 詳細 本電源はターゲットやサブストレートにとって有害なアーク・エネルギーが極めて小さいスパッタ用電源です。また非常に安定した垂下特性を持った回路方式を採用しており、アーク発生等の負荷急変時に回路内部の電圧が過度に上昇せず、ストレスが小さい電源です。 002 アステック（株）

大気圧放電用パルス電源 Genius 詳細 本電源は大気圧放電用に使用される汎用電源です。パルス周波数やパルス幅が可変で、生産装置用だけでなく研究・開発用として最適です。非常に安定した垂下特性を持った回路方式を採用しており、アーク発生等の負荷急変時に内部の電圧が過度に上昇せず、ストレスが小さい電源です。 003 アステック（株）

プラズマ用高周波電源 CESAR 詳細 CESARは、プラズマ・アプリケーション向けの高効率な電源で安定した出力を維持し、長時間アップタイムを実現。インテリジェントなクラスEスイッチモード設計により発熱が少ないため主要部品への温度ストレスが低減しました。 004 アステック（株）

プラズマ用高周波電源 R/L 01 詳細 本機は、Mosfetパワートランジスタを使用した高効率でコンパクトなパワーアンプ，ＭＰＵ(Microprocessor Unit)を使用したコントロール回路とスイッチング電源の採用により多機能で小型・軽量化を実現したプラズマ用高周波電源です。 005 アステック（株）

Fシリーズ　インピーダンス自動整合器 詳細 Fシリーズ　インピーダンス自動整合器は、高周波電源と負荷チャンバーとの間に用いて、最良のインピーダンス整合を得ることができる整合器です。超高速で正確なインピーダンス整合を行います。 006 アステック（株）

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