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（株）ヒューブレイン INDEX

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ウエハ・チップ外観検査装置 HM-256シリーズ

■特　長 　 ●200万画素カラーカメラを標準採用することにより、優れた検出能力を発揮。 ●ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能。 ●多様なパターンのチップの検査が可能。 ●品種毎に可変の画像分解能（1.5〜5μ）で検査が可能。 ●画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能。 ●一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を使用した検査が可能。 ●オートローダーで連続供給、高速なNGチップの排除機構を装備。（オプション） ●厚みの公差が150μmあるワークでも検査・排除可能。（オプション） ●数の排除ミス・マーキングミスチェック機能あり。（オプション） ●NGマーキング（インカー・レーザーマーカー）、バーコード自動読み取り可能。（オプション） ●照明用途の大型LEDチップにも対応した、プレスキャン対応も可能。 ■検査対象ワーク 　 ●LEDチップ、半導体チップ（チップサイズ：100μｍ〜2ｍｍ、各種パターンに対応） ●ウエハサイズ：2〜8インチ（検査範囲Max□210mmの範囲内であれば可能） ●多様なリングやカセットに対応 ■検査項目 　 ●ダイシング不良（幅・欠け）●電極サイズ（はみ出し・欠け・面積過不足）　 ●電極キズ・汚れ　 ●変色　 ●各部キズ・汚れ カタログ請求・お問い合せ

社名：株式会社ヒューブレイン　　　　　　　　　　　　　URL：http://www.hu-brain.co.jp/

本　　社 〒533-0033 大阪市東淀川区東中島1丁目6番14号　新大阪第2日大ビル10F

TEL： TEL.06-6321-3211 　FAX：06-6321-3255

営業品目：各種画像検査装置,画像検査機,外観検査機 等